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北京石英管式微波等離子體裝置

北京石英管式微波等離子體裝置

簡要描述:北京石英管式微波等離子體裝置該設(shè)備利用頻率為2.45GHz的微波激勵(lì)稀薄氣體放電,從而產(chǎn)生等離子體。真空反應(yīng)室為Φ50mm的石英管腔體。放置樣品的基片臺(tái)可以方便地在反應(yīng)腔體內(nèi)上下升降調(diào)節(jié)。
基片臺(tái)位于石英管反應(yīng)腔體的中心,該基片臺(tái)除了基本的上下升降功能外,同時(shí)具有水冷控溫的功能。

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所屬分類:其他實(shí)驗(yàn)室化工設(shè)備

更新日期:2024-06-09

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

詳情介紹
產(chǎn)地類別國產(chǎn)

石英管式微波等離子體裝置  

型號(hào):GH/FM-CVD

北京石英管式微波等離子體裝置該設(shè)備利用頻率為2.45GHz的微波激勵(lì)稀薄氣體放電,從而產(chǎn)生等離子體。真空反應(yīng)室為Φ50mm的石英管腔體。放置樣品的基片臺(tái)可以方便地在反應(yīng)腔體內(nèi)上下升降調(diào)節(jié)。

北京石英管式微波等離子體裝置基片臺(tái)位于石英管反應(yīng)腔體的中心,該基片臺(tái)除了基本的上下升降功能外,同時(shí)具有水冷控溫的功能,雙層水冷支架與基片臺(tái)可方便地拆卸與維護(hù),即使樣品以不同的形態(tài)(片狀、塊狀、粉末狀等)出現(xiàn),更換或改裝基片臺(tái)也十分方便。

石英管反應(yīng)腔兩端有雙層水冷套作降溫保護(hù),端口以不銹鋼部件固定并密封(加橡膠)石英腔體,以確保反應(yīng)腔的安全穩(wěn)定工作。

該設(shè)備的真空系統(tǒng)采用2XZ-2型旋片真空泵,極限真空6×10-1帕,抽速2升/秒,額定轉(zhuǎn)速1400轉(zhuǎn)/分,機(jī)械泵與真空室之間設(shè)置有電磁閥和高真空隔膜閥,旁路管道設(shè)置另一隔斷閥(高真空微調(diào)閥),以便于真空系統(tǒng)運(yùn)行安全及工作時(shí)反應(yīng)氣體壓強(qiáng)的靈活控制。真空密封采用金屬和橡膠密封,通常:相對(duì)不動(dòng)接口采用金屬銅密封,相對(duì)可動(dòng)接口采用橡膠密封。

真空測量采用數(shù)字壓阻式真空計(jì),用來測量反應(yīng)腔內(nèi)的工作氣壓。

主要電氣配置:

1) 真空泵:2XZ-2型旋片真空泵采用單相220V交流電源,對(duì)實(shí)驗(yàn)室電源無特殊要求。

2) 磁控管:采用工業(yè)上通用的磁控管,該磁控管具有使用壽命長、可靠性高的特點(diǎn),維護(hù)方便。

3) 真空計(jì):采用壓阻式真空計(jì),用于測量工作時(shí)的工作氣壓。

4) 溫控儀:用于冷卻水循環(huán)系統(tǒng)中的制冷及水溫控制。

5) 500W微波功率源:通過調(diào)節(jié)磁控管陽極電壓的方法調(diào)節(jié)微波功率的輸出,利用簡單、可靠、易維護(hù)的電路實(shí)現(xiàn)微波功率的連續(xù)可調(diào)輸出。

6) 冷卻水:裝置自帶循環(huán)冷卻水,對(duì)實(shí)驗(yàn)室無水源要求,既節(jié)水又方便。

二、技術(shù)參數(shù)及特性1. 反應(yīng)室工作壓強(qiáng):幾百帕~十千帕

2. 反應(yīng)室極限壓強(qiáng): 6×10-1帕3. 反應(yīng)室尺寸: Φ50mm

4. 微波功率: 0~500W5. 基片溫控: 200~1000℃

外形尺寸 1.4*1.5*0.6立方米(mm)

測量范圍 0.500W(Ω)



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